超薄ウェーハ用マランゴニ乾燥システムは、シリコン（Si）、シリコンカーバイド（SiC）、窒化ガリウム（GaN）、リン化インジウム（InP）などの材料で作られた超薄型ウェーハ（110μm〜1400μm）専用に設計されています。4/6/8/12インチのウェーハサイズに対応し、先進的なパッケージング、MEMSセンサー、およびウェーハの厚さと表面の一貫性に厳密な管理が求められる分野に適しています。高精度のマランゴニ効果を活用し、システムは窒素圧力を利用して、IPAのナノスケールの均一な薄膜を水面に形成します。超低応力の持ち上げとマイクロパルス排水のデュアルモード乾燥を組み合わせ、超薄型ウェーハの変形リスクを排除します。装置は接触式の上下搬送機構を採用しており、取り扱いや乾燥プロセス中のダメージをゼロに保ち、ウェーハとカセットが分離することによる汚染も防ぎます。