マランゴニ乾燥機は、シリコン（Si）、シリコンカーバイド（SiC）、窒化ガリウム（GaN）、インジウムリン（InP）などの材料で作られたウェーハの乾燥に適しています。4/6/8/12インチのウェーハサイズに対応し、350μmから1400μmの範囲で厚さを選択可能で、さまざまなアプリケーションに対応します。マランゴニ効果に基づき、システムは窒素を使用してIPAを運び、表面張力の勾配を形成し、効率的な乾燥を実現します。乾燥モードは、ウェーハの持ち上げ、ゆっくりとした排水、振動の3種類に対応しています。装置は上下の搬送機構を備え、カセットレスプロセスを実現し、ウェーハとカセットの接触点での乾燥不良を防ぎ、乾燥の均一性を向上させます。