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半導体用超純水インライン加熱装置

半導体純水オンライン加熱装置は、主に効率的な加熱源（ハロゲンランプ、カーボンランプなど）を使用して水を加熱します。効率的な加熱源を搭載した装置では、直接水を加熱し、加熱パワーは制御システムによって正確に調整され、迅速かつ安定した加熱プロセスが実現されます。

型式	CGB-WH24	CGB-WH48	CGB-WH72	CGB-WH96	CGB-WH144
加熱電力	24KW	48KW	72KW	96KW	144KW
標準流量 at55	6L/min	12L/min	18L/min	24L/min	36L/min
加熱範囲	25~85℃
温度制御精度	±1℃
	1.流量変動範囲±10% 以内（温度は流量変動に伴い変化します） 2.純水供給温度変動範囲±5%以内 3.電源電圧変動範囲±5%（定格電圧±10% 以内） 4.上記3条件が同時発生することはありません

流量表示範囲	0-10L/min	0-50L/min
温度制御システム	PID制御
安全機能	過熱保護、空焚き防止保護、漏電・過電流保護、低液位保護、液漏れ防止