半自動シングルキャビティフォトマスク洗浄機は、フォトマスクの表面に残るレジストの残留物を効果的に除去し、浸漬、ブラシ洗浄、ACE/IPA洗浄、メガソニック洗浄を通じてマスク表面を清浄にします。

この装置は、プロセスチャンバー、リフティングスキャニングスイングアームモジュール、ブラッシングスイングアームモジュール、液供給・排出システム、空気清浄・静電気除去システム、排気システム、中央制御システムなどで構成されています。プロセスチャンバーには、ブラシ洗浄、ACE洗浄、IPA洗浄、メガ洗浄、窒素吹付、窒素乾燥、遠心スピンオフなどの機能を装備することができます。