自動シードウェーハ洗浄機は、回転ブラシヘッドと二流体を使用し、DIWと組み合わせることでウェーハ上に残る物理的なパーティクルを効果的に除去します。主に異なる仕様のシードウェーハの洗浄に使用されます。

6〜12インチの多様な仕様のウェーハに対応。

セルフクリーニングブラシヘッド。

独立した反転モジュールにより、ウェーハの両面を自動的に反転・洗浄。

多様な仕様のウェーハの正確なアライメント。

優れた洗浄結果。

多様な安全試験（破片発生を避ける）。