全自動枚葉式洗浄機は、多層キャビティ構造を採用し、回転ブラシヘッド、二流体、メガソニック、さまざまな化学液を組み合わせて、ウェーハ上の物理的な粒子や金属イオンの残留物を効果的に除去します。主にウェーハ製造の最終洗浄、CMP後の洗浄、拡散前の洗浄、エッチング後の洗浄、標準RCA洗浄、PR除去洗浄、コーティング前後の洗浄などに使用されます。