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倒角机

全自动晶圆倒角机

具备两个加工轴,可独立控制,也可单轴单独加工。与单轴设备相比,双轴设备可将加工效率提高70%。(仅供参考)

产品详情

型       号
CGB-LD150CGB-LD200CGB-LD300
晶圆规格6inch8inch12inch
晶圆厚度

350~1400μm

槽体材质PVDF 、Quartz
处理时间≤10min
处理温度60~80℃±2℃
加  热  器进口高纯石英
温度管理温度传感器;铂电阻式
加工后液体残留No
安全认证SEMI S2