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槽式湿法制程设备

半自动槽式清洗机

半自动槽式清洗机是一种结合了自动和手动操作的清洗设备,具有较大的操作灵活性,能够适应不同尺寸和类型的晶圆清洗需求,适用于多样化的生产环境。

✨ 兼备一定自动化功能,如清洗液的循环、加热、抛动、旋转等操作可自动完成,减轻了人工操作强度,同时又保留了人工参与环节,操作人员能根据实际情况进行干预和调整,灵活性较高。

✨ 通常配备操作面板,界面简洁直观,按钮和显示屏布局合理,工作人员经简单培训就能熟练操作,降低了对操作人员专业技能的要求。

✨ 与一些全自动高端清洗设备相比,槽式半自动湿法清洗机结构相对简单,价格较为便宜,能为企业节省设备采购成本。

✨ 设计有多重安全防护装置,如液位保护、温度保护、漏电保护等,能有效防止因操作失误或设备故障引发的安全事故,保障操作人员和设备的安全。

产品详情

适用尺寸     4/6/8/12 inch
承载方式     标准Cassette、Loadport
传递方式     The Top Robot
上下料方式     人工手动
槽盖方式     Auto Cover
槽位排布     单排/双排