拥有多项自主知识产权,可应用于RCA清洗工艺、湿法刻蚀工艺、金属层湿法刻蚀工艺、炉管前清洗工艺及其它特殊工艺清洗需求、设备采用模块化设计，易于维护。

✨ 搭载药液浓度实时监控及高效回收系统，提高药液使用率。

✨ 可以搭载超声波、兆声波以及槽体流场控制技术，最佳化清洗能力。

✨ 柔性化设计，系统自动排程，多工位并发处理，实现高效率运行。

✨ 软硬件互锁安全装置，温度自动校准及过温保护，确保人员及机台安全。

✨ 可搭配一键换酸、Auto Pm等功能，提升机台维护效率。

✨ 多组机械手系统传递，支持“干进干出”需求,提高洁净度要求。