有机清洗机生产主线为:上料台、ACE1槽1、ACE2槽2、METH槽3、QDR槽4、QDR槽5、IPA槽6、HOT N2槽7、下料台,共6个制程工位。本设备电器控制部分关键件均采用进口优质件,性能可靠,使用寿命长;顶部及背部设有吸风口,为防止污染空气,用户需外接风管抽风。本机台是一个人机界面(PC)加PLC控制的自动控制系统,操作者只须将花篮放置于工装上,再由PLC控制机械手将花篮输送到各个工位,按照事先输入的程序对晶片进行各工艺处理。
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