通过物理（高压喷淋）与化学方法（蚀刻），该方法清洗出来的石英环能达到表面清洁效果 良好的要求，并可以提高生产效率，更适合于量产。

✨全自动运行：全自动机械手搬运工件，槽内工艺流程自动运行，工艺期间不需要人员参与。

✨酸槽蚀刻：使用化学液配合循环过滤系统对石英环表面进行微蚀刻处理。

✨化学液回收利用：工艺完成后，化学液经过滤器进入储液箱，可供下次重复利用。

✨水槽清洗：配有快速注水（1分钟之内注满槽）、慢速溢流（2-10L/Min带走槽内污染物）、高压喷淋（0.3-1.2MPa压力可调）、底部鼓氮（10-100L/Min流量可调）、急速排放（10秒内排空）等多重功能于一身，满足不同工件的工艺要求。

✨节水功能：慢速溢流后与喷淋后的DIW可经回收管路进入纯水箱，供下次注水使用，可很大程度上节约DIW。

✨干燥功能：使用高温 N2 风配合槽内红外加热管进行干燥。 工艺柔性化设计，可设备多组工艺配方，更改方便迅速。

✨多级别用户工艺数据库，可供用户使用和存储。