是SiC晶片批量清洗高端半导体设备，整合全流程自动化传输、精密化学清洗等功能，搭配50片PFA片盒，形成高效洁净的清洗方案，适配SiC功率器件晶圆制造核心需求。

✨ 核心创新的PFA回流功能，通过自动化回流轨道与同步控制系统，实现空片盒闭环自动流转，打破人工搬运瓶颈，提升效率与利用率，避免人工二次污染，同时降低生产成本与安全风险。

✨ 50片PFA片盒依托PFA材质优势及科学结构，保障批量清洗均匀高效，避免晶片污染划伤，与PFA回流功能协同，实现“批量+自动循环”双重优势，适配大规模量产。

✨ 设备模块化设计、精准温控及自动化控制系统，适配不同规格SiC晶片清洗，可与现有生产线无缝对接，完善的维护与安全功能，延长设备寿命、降低运维成本。