是一种高度自动化的化学品供应系统，主要用于24小时不间断向生产线提供各种化学液体。该系统广泛应用于集成电路、半导体材料加工、LED、太阳能光伏、MEMS等行业中湿法设备的化学液自动供给。CDS供液系统能实现化学液的自动加液、补液及配液，确保生产过程中化学液的精确配比和稳定供应，是许多工艺的核心支持系统。

✨ 配备高精度的计量装置，有助于提高产品质量的稳定性。

✨ 先进的控制系统，能保证化学药液以稳定的流量输出。

✨ 具备在线监测和故障诊断功能，帮助维修人员快速定位解决问题。

✨ 远程监控操作，提高了操作的便捷性和安全性。

✨ 自动配液功能，提高了配液的准确性和效率。

✨ 多种药液兼容，满足不同生产工艺对多种化学药液的需求。