废气处理系统针对半导体生产中产生含多种有害物质的废气,如酸性气体、碱性气体、有机废气、反应性气体、重金属气体等,进行有效的分解、处理。尾气处理设备可将这些有害物质转化为无害或低害物质,防止其排放到大气中,减少对空气、水体和土壤的污染,保护生态平衡。能降低车间内有害气体浓度,为员工创造安全健康的工作环境,减少有害物质对员工呼吸系统、神经系统等的损害,降低职业病发生风险。尾气中的腐蚀性成分会对生产设备、通风管道等造成腐蚀,缩短其使用寿命,增加维护成本。处理尾气可减少这种腐蚀,延长设备和设施的使用年限。
✨ 处理效率高:配备磁力泵、喷淋装置、活性炭吸附装置等,可快速高效的进行废气处理。
✨ 运行稳定可靠:通常采用先进的控制系统,如PLC控制,可实时监测和调节设备运行参数,确保在不同工况下都能稳定运行,减少故障发生概率,保障尾气处理效果。
✨ 操作简便:自动化程度高,通过远程操作和管理,提高工作效率。
外形尺寸 | L1500*W800*H2000mm |
腔体数量 | 单腔/双腔 |
处理能力 | 2m³/H |
安全功能 | 漏电保护、漏液保护、液位保护 |