辅助设备
在线加热器
在线加热器是专为半导体行业设计的高效加热设备，适用于需要精确控温的介质加热场景。该加热器采用高品质石英材料，具备优异的耐腐蚀性和热稳定性，能够在严苛的工业环境中稳定运行。其功率范围可定制为3~12kW，满足不同工艺需求。通过循环在线式设计，加热器能够实现快速、均匀的介质加热，确保工艺过程的高效性和一致性。
产品详情
| 型号 | CGB-WH3 | CGB-WH6 | CGB-WH12 |
| 加热功率 | 3KW | 6KW | 12KW |
| 循环流量范围 | 5~30L/min | ||
| 加热范围 | 25~180℃ | ||
加热时间 | ≤30min | ||
| 温度控制精度 | ±1℃ | ||
1.使用流量的变化在±10% (温度随流量的变化而变化) 2.纯水的进水温度变化在±5% 3.供电电压波动在5% (额定电压在10%) 4.以上三种情况不能同时发生 | |||
| 安全功能 | 超温保护、防干烧保护、漏电过流保护、低液位保护、漏液保护 | ||
| 使用流体类别 | 适用液体类型：无机酸（HCl, H₂SO₄, HNO₃, H₃PO₄）、有机溶剂（C₂H₅OH, C₃H₆O, C₇H₈）、强氧化剂（H₂O₂, O₃, NaClO）、高纯水（H₂O）及低温弱碱（NaOH, KOH）；禁用：氢氟酸（HF, SiO₂+4HF→SiF₄↑+2H₂O）、高温熔融强碱（NaOH/KOH）。 | ||
| 适用气体类型：适用于惰性气体（N₂、Ar、He）、氧化性气体（O₂、干燥空气）、还原性气体（H₂、CO）、常见工业气体（CO₂、CH₄、C₃H₈）及干燥洁净气体（如高纯N₂），需针对性防护。 | |||
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