石英钟罩清洗机是一种专门用于清洗石英钟罩的设备,通常用于半导体制造过程中,以确保高清洁度。
✨ 清洗效果卓越,全方位无死角清洗,采用特殊的清洗工艺和喷头设计,使清洗液均匀地喷洒到钟罩内的各个部位。
✨ 对于外延生长过程中产生的微小颗粒和杂质,能实现高精度清洗。
✨ 避免应力损伤,清洗过程中不会对石英钟罩产生过大的机械应力或热应力,防止因应力集中导致钟罩破裂或变形。
✨ 自动化程度高,智能操作流程,配备先进的自动化控制系统。
✨ 可设计为能适应不同尺寸和规格的外延石英钟罩清洗机,满足多种生产需求。
✨ 清洗工艺可根据不同的清洗需求和工艺要求,灵活定制清洗方案。
石英钟罩规格 | 630/680 |
放置方式 | 立式方式 |
密封方式 | PTFE压紧 |
清洗方式 | 喷淋式清洗 |
干燥方式 | Hot N₂ |
流量监控方式 | 实时监测 |