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辅助设备

石英钟罩清洗机

石英钟罩清洗机是一种专门用于清洗石英钟罩的设备,通常用于半导体制造过程中,以确保高清洁度。

✨ 清洗效果卓越,全方位无死角清洗,采用特殊的清洗工艺和喷头设计,使清洗液均匀地喷洒到钟罩内的各个部位。

✨ 对于外延生长过程中产生的微小颗粒和杂质,能实现高精度清洗。

✨ 避免应力损伤,清洗过程中不会对石英钟罩产生过大的机械应力或热应力,防止因应力集中导致钟罩破裂或变形。

✨ 自动化程度高,智能操作流程,配备先进的自动化控制系统。

✨ 可设计为能适应不同尺寸和规格的外延石英钟罩清洗机,满足多种生产需求。

✨ 清洗工艺可根据不同的清洗需求和工艺要求,灵活定制清洗方案。

产品详情

石英钟罩规格
630/680
放置方式立式方式
密封方式PTFE压紧

清洗方式

喷淋式清洗

干燥方式Hot N₂
流量监控方式实时监测