纯水预热柜是一种湿法清洗设备中的关键子系统，主要用于保障工艺稳定性和能效。通过热交换系统将去离子水（DI水）升温至设定温度（如80℃左右），直接输送至设备内部工艺槽。系统可根据设备内部工艺槽的实际容积，动态调节流量参数，以实现精准匹配工艺需求。

❈ 热源设计‌：采用红外加热管加热系统，通过电加热介质间接提升纯水温度，避免直接接触污染

❈ 水箱设计：采用高纯石英材质，洁净度高，无颗粒或金属元素析出，且加热效率高

❈ 供水泵设计：采用全PTFE材质气动泵，无污染析出，可长期耐高温工作

❈ 阀门设计：采用全PFA材质气动阀，无污染析出，可长期耐高温工作

❈ 保温层设计：采用外包式保温棉+保温层双层保温设计，热量损失小