近日，公司顺利完成SEMI S6认证审核，获得权威第三方机构出具的符合性评估报告。这标志着公司半导体设备排气通风系统在环境、健康与安全（EHS）性能上达到国际半导体产业公认的安全标准，为产品进入主流晶圆厂供应链再添关键资质。

SEMI S6：半导体设备排气安全的“通行证”

SEMI S6是国际半导体产业协会制定的设备排气通风EHS标准，核心是规范排气系统设计与性能，确保有害气体被有效控制与安全排放。该标准被视为半导体设备进入国际主流晶圆厂的强制性安全认证之一，技术核心是通过示踪气体测试等方法，验证设备在正常运行及单一故障场景下，有毒气体浓度低于职业暴露限值，可燃气体浓度低于爆炸下限的25%。

审核历程：从文件到现场的全面核验

自项目启动以来，公司技术团队完成了排气系统设计说明、P&ID图纸、危险物质释放率计算书及联锁保护逻辑说明等技术文件的编制与提交。审核期间，认证工程师对公司设备排气通风系统进行现场测试，通过示踪气体法验证泄漏场景下的通风效率与安全控制能力。各部门协同配合，审核顺利通过，未出现重大不符合项。

认证价值：市场准入与安全管理的双重提升

市场层面，SEMI认证是半导体设备进入国际晶圆厂供应链的重要门槛，S6评估报告可直接用于客户验厂与项目准入，有助于公司拓展半导体设备业务。管理层面，认证进一步夯实了设备安全性能，降低了作业场所职业健康风险，也为后续其他SEMI标准的导入积累了经验。

证书是节点，安全无止境

SEMI S6评估报告的取得，是对公司设备排气安全设计能力的客观验证，更是持续改进的新起点。未来，公司将继续以SEMI标准为设计准则，在设备研发早期融入安全合规要求，确保产品在排气通风安全方面始终保持国际标准水平。