生产主线为： Load，药液A槽1、QDR槽2……干燥槽N、Unload，共X个制程工位, 设置为6” *1 cassette晶舟上货，将晶舟置于Robot上货区位置，按下『启动键』，Robot将自动以夹持方式移至制程槽进行预设之制程，完成设备本身设定之流程，达成一贯性自动控制的功能。本设备电器控制部分关键件均采用进口优质件，性能可靠，使用寿命长；及背部设有吸风口，为防止污染空气，用户需外接风管抽风。本机台是IPC工业电脑加PLC控制的全自动控制系统。